案例分享
2026.01.09 (五)

案例分享|半導體真空法蘭鎖附工具的關鍵選擇:為什麼工程端信賴 Snap-on 扭力扳手

真空法蘭鎖附的工程本質:一致性,而非「用力」

 

以半導體設備中常見的 CF(ConFlat)真空法蘭為例,其密封原理仰賴金屬銅墊片在受控條件下產生塑性變形,形成可靠的高真空密封。

此過程對鎖附條件有明確要求:

  • 扭力必須準確

  • 多顆螺栓需均勻受力

  • 每一次重複安裝結果需一致

一旦扭力過大或分佈不均,容易造成:

  • 墊片過度變形

  • 法蘭面受力偏心

  • 長期運轉後產生慢漏

因此,扭力控制能力本身就是製程風險管理的一部分

圖片取自Alpha Ring官網


為什麼 Snap-on 扭力扳手成為工程端的標準選項

在高真空應用環境中,工程端對鎖附工具的要求,並不止於「可設定扭力」,而是以下三個核心能力:

 

1.高精度與長期穩定性

Snap-on 扭力扳手以穩定的校正品質著稱,能確保不同人員、不同時間點的鎖附結果高度一致,降低人為變數。

2.清楚的扭力回饋,適合交叉鎖附流程

在多螺栓法蘭鎖付作業中,清晰的到位回饋有助於工程人員遵循標準交叉鎖附流程,避免補扭或過扭行為。

3.可校正、可追溯,符合半導體設備管理邏輯

在設備驗收、內部規範或客戶稽核流程中,工具的可校正性與一致性,本身即是專業工程管理的一環。

 

扭力,不只是數值,而是品質的語言。

 


不只 CF 法蘭:Snap-on 參與整體真空系統穩定性

 

即使在常見的 KF(Quick Flange) 系統中,法蘭本體不需螺栓鎖附,但真空系統中仍存在大量關鍵鎖點,包括:

  • 真空閥體與管路固定

  • 壓力感測器(Gauge)安裝

  • KF 轉接至螺紋或 VCR 接頭

  • 設備模組與支架固定座

這些位置若扭力控制不當,往往成為真空系統中最難排查的慢漏來源。

圖片取自Alpha Ring官網


工具選擇,其實已經決定了真空可靠度

 

在半導體真空工程中,
穩定的真空表現,來自可重複、可預期的工程行為

Snap-on 扭力扳手的價值,不只是完成鎖附動作,而是讓每一次鎖附結果,皆符合工程規範、設備邏輯與長期運轉需求。

這也是為什麼在真空法蘭鎖附應用上,Snap-on 能夠成為工程端信賴的第一選擇。

 


精密科研設備,從鎖付工具開始

 

對 Alpha Ring 而言,ION Beam System 不僅是一台實驗設備,更是培育未來核融合人才的重要平台。

選擇 Snap-on 扭力扳手作為鎖付工具的第一選擇,代表的是:

  • 對工程精度的重視

  • 對長期穩定性的承諾

  • 對專業標準的堅持

這正是 Snap-on 能夠成為高端科研與真空設備領域信賴品牌的原因。

感謝 Alpha Ring 採用 Snap-on扭力扳手

Alpha Ring官網